Materijal stroja za vakuumsko premazivanje se isparava i transportira na podlogu za taloženje i stvaranje filma

Materijal stroja za vakuumsko premazivanje se isparava i transportira na podlogu za taloženje i stvaranje filma

Premazivanje vakuumskim isparavanjem je metoda vakuumskog premazivanja zagrijavanjem i isparavanjem materijala pod vakuumskim uvjetima kako bi se sublimirala struja isparenih čestica izravno na podlogu i taloženje čvrstog filma na podlogu ili zagrijavanje i isparavanje materijala za premazivanje.

Fizički proces je od isparavanja i transporta materijala do supstrata za taloženje i stvaranje filma. Fizički proces je: pretvaranje u toplinsku energiju pomoću nekoliko energetskih metoda, zagrijavanje materijala za oplatu da ispari ili sublimira i postane plinovita čestica s određenom energijom ({{0}}.1~0.3eV) (atomi, molekule ili atomske skupine); napuštajući površinu materijala za oblaganje, plinovite čestice sa značajnom brzinom kretanja prenose se na površinu supstrata u uglavnom ravnom letu bez sudara; plinovite čestice koje dospiju na površinu supstrata se kondenziraju, stvaraju jezgre i rastu u film čvrste faze; sastav Atomi filma preuređuju ili stvaraju kemijske veze.

Glavni nedostaci tehnologije luka vakuumskog premazivanja:

- Ciljni materijal je ograničen

- Koristite samo metale (bez oksida), što rezultira niskim temperaturama isparavanja

- Zbog velike gustoće struje, dio ciljanog materijala isparava i raspršuje se u malim kapljicama

Prednosti tehnologije luka vakuumskog premazivanja:

plus visoka brzina taloženja (~1-3 µm/h)

plus Visoka stopa ionizacije, stvarajući dobro vezani, gust premaz

plus Ciljano hlađenje, manje zagrijavanje obloženog obratka, što omogućuje taloženje ispod 100 stupnjeva

plus Može ispariti metale različitih sastava, a sastav preostale čvrste mete ostaje nepromijenjen

plus Katoda se može postaviti u bilo koji položaj (vodoravno, okomito, gore i dolje), fleksibilan dizajn uređaja

Kretanje luka stroja za vakuumsko premazivanje

Gibanje luka kontrolirano je magnetskim poljem. Plazma koju stvaraju ispareni metalni ioni taložit će se na površini obratka. Ovi obradaci se okreću u vakuumskoj komori. Premaz pripremljen lukom obično se nanosi na površinu alata i dijelova. premazivanje.

www.superbheater.com