Senzor minijaturizacija i tehnologija čipa

Mikro-elektromehanički sustav (MEMS) je mikro-sustav ili uređaj koji integrira mikro-mehanizme, mikro-senzore, mikro-aktuatore, upravljačke krugove, obradu signala, komunikaciju, sučelja, napajanja itd. To je tehnologija za dizajniranje, proizvodnju, mjerenje i kontroliranje mikro/nano materijala.

MEMS tehnologija uključuje: silicijsku tehnologiju mikroračunanja, duboko reaktivno jetkanje iona, tehnologiju liga, tehnologiju molekularnog sastavljanja, skupno mikrorak, površinsko mikroračunanje, lasersko mikroturing i tehnologiju mikro-pakiranja.

Tehnologija silicijskog mikroračunala je glavna tehnologija MEMS -a. To je precizna tehnologija trodimenzionalne obrade. To je tehnologija za razvoj senzora, mikro-aktuatora, mikro-aktuatora i mikro-mehaničkih sustava. Uspješno se koristi za proizvodnju različitih mikro-senzora i multifunkcionalnih nizova osjetljivih elemenata. Kao što su mikro-silikonski kapacitivni senzori, senzori protoka mikro-silikona, dinamički senzori i mikro-senzori za zrakoplovne, automobilski tlak i senzori ubrzanja, mikro-kemijski senzori za zaštitu okoliša itd.

Integracijska tehnologija senzorskih nizova i kompozita s više senzijskih parametara

Integracija se odnosi na integraciju višestrukih senzorskih funkcija s obradom podataka, pohranom, dvosmjernom komunikacijom itd. Kao što su tlak, statički tlak, temperaturni senzor s tri varijable; Tlak zraka, sila vjetra, temperatura, vlaga s četiri varijabilnog senzora; Senzor tlaka i senzor tlaka za mikro silicij i senzor niza itd., Svi koriste tehnologiju integracije. Proces integracije i više varijabilni kompozitni senzor mikrostruktura integrirani proces proizvodnje, kao što su tlak, statički tlak, temperaturni senzor s tri varijable, tlak zraka, sila vjetra, temperatura, vlažnost s četiri varijabilnog senzora, mikro silicijski kompozitni senzor tlaka, senzor niza.

Postoje dvije vrste integracije senzora: jedna je izgradnja više senzornih modula na čipu putem tehnologije mikro mahinga kako bi se stvorio linearni senzor (poput CCD senzora slike); Drugi je napraviti osjetljive komponente s različitim funkcijama na istom silicijskom čipu kako bi se napravio integrirani multifunkcionalni senzor s visokom integracijom, malom veličinom i jednostavnom kompenzacijom i korekcijom.