Završetak i gašenje monokristalne peći:

Završetak i gašenje monokristalne peći:

Kada se monokristal povuče do repa, počinje kraj. Kada promjer monokristala dosegne Φ10-80mm, zona taljenja se razdvaja. U to vrijeme, donja osovina se nastavlja kretati prema dolje, a gornja osovina se mijenja prema gore, dok snaga ostaje na 40± 10%, polako hladeći kristal. Czochralski uređaj za rast monokristala pripada tehničkom području opreme za rast poluvodiča. Uključuje hidraulički servo sustav za podešavanje štapa lončića; u jedinici za upravljanje grijanjem, trofazni balansni transformator, filtarski kondenzator, prigušnica i otpornik kombinirani su i povezani paralelno s harmoničkim izvorom; također ima uređaj za punjenje plinom promjenjive frekvencije. Ovaj izum prevladava nemogućnost postojećeg pogonskog uređaja za podizanje osovine lonca da učinkovito osigura stabilnost kontrole proizvodnje i nedovoljnu točnost, prevladava nemogućnost postojeće upravljačke jedinice grijanja da eliminira harmonike, a također prevladava postojeći pogon za podizanje osovine lonca. ne može učinkovito jamčiti stabilnost kontrole proizvodnje i točnost je nedovoljna.

Zakretanje peći s monokristalom, držanje i otpuštanje stezaljke:

Kada se promjer proširenog ramena razlikuje od promjera držanja monokristala za 3-20 mm, brzinu širenja ramena treba usporiti i ramena treba rotirati dok se ne postigne željeni promjer. Monokristal se održava. Izodijametar se održava na 75 mm-220mm, a monokristal raste. Brzina je 1 mm/min-5 mm/min. Tijekom procesa širenja ramena, kada je udaljenost između klinova držača monokristala na ramenu monokristala manja od 2 mm, držač će se otpustiti i monokristal će biti stegnut;

Proširenje ramena monokristalne peći i punjenje dušikom:

Nakon rasta vrata, proširite ramena, polako smanjite donju brzinu na 3±2mm/min, u isto vrijeme dok se promjer proširenih ramena povećava, nastavite smanjivati ​​i smanjite na 8±4rpm, i polako smanjite i pojačajte do 1± 0.5rpm; Kako bi se spriječila ionizacija pod visokim tlakom, određeni udio dušika se puni u zaštitnu atmosferu argona, a omjer miješanja dušika je 0.01% do 5% onog argona;

www.superbheater.com