Stroj za vakuumsko premazivanje koristi visokofrekventno napajanje, a petlji je dodan jak kondenzator.

Stroj za vakuumsko premazivanje koristi visokofrekventno napajanje, a petlji je dodan jak kondenzator.

Kako bi se riješio ovaj problem, izumljeno je magnetronsko reaktivno raspršivanje. To jest, korištenje metalne mete, dodavanje argona i reaktivnog plina poput dušika ili kisika. Kada metalna meta pogodi dio, spaja se s reaktivnim plinom i stvara nitride ili okside zbog pretvorbe energije.

Lako je raspršivati ​​metale i legure pomoću magnetronskih meta izvora, a paljenje i raspršivanje su prikladni. To je zato što meta (katoda), plazma i vakuumska komora raspršenog dijela mogu formirati krug. Ali ako raspršite izolatore kao što je keramika, strujni krug je prekinut. Dakle, ljudi koriste visokofrekventno napajanje i dodaju jaki kondenzator u petlju. Na taj način ciljni materijal postaje kondenzator u izolacijskom krugu.

Kako bi se povećala stopa iskorištenja ciljanog materijala, stroj za vakuumsko premazivanje može koristiti rotirajuće magnetsko polje

Interakcija između magnetskog polja i elektrona koristi se kako bi se elektroni pokrenuli u spiralnom obliku blizu ciljne površine, čime se povećava vjerojatnost da će elektroni pogoditi plin argon i generirati ione. Generirani ioni udaraju u površinu mete pod djelovanjem električnog polja i raspršuju metu. U razvoju posljednjih desetljeća postupno su usvojeni trajni magneti, a magneti sa zavojnicama se rijetko koriste. Bez obzira na ravnotežu ili neravnotežu, ako magnet miruje, njegove karakteristike magnetskog polja određuju da je opća ciljana stopa iskorištenja manja od 30 posto. Kako bi se povećala stopa iskorištenja ciljnog materijala, može se koristiti rotirajuće magnetsko polje. Ali zakretanje magnetskog polja zahtijeva rotirajući mehanizam, au isto vrijeme smanjuje se brzina raspršivanja.

www.superbheater.com