Reaktivno raspršivanje za vakuumiranje električnih grijaćih cijevi naširoko se koristi za taloženje složenih filmova

Reaktivno raspršivanje za vakuumiranje električnih grijaćih cijevi naširoko se koristi za taloženje složenih filmova

 

Razvoj modernog površinskog inženjerstva sve više zahtijeva korištenje različitih složenih filmova, a tehnologija reaktivnog magnetronskog raspršivanja jedan je od glavnih načina taloženja složenih filmova. Za taloženje složenih filmova s ​​više komponenti, ciljni materijal izrađen od složenih materijala može se koristiti za taloženje raspršivanjem, ili kada se raspršuju mete od čistog metala ili legure, određeni reaktivni plin, poput kisika i dušika, može se uvesti da reagira i taloži spoj filmova. To se zove reaktivno raspršivanje. Obično je lako dobiti čiste metalne mete i reaktivne plinove visoke čistoće, pa se reaktivno raspršivanje naširoko koristi za taloženje složenih filmova.

Prednosti vakuumske galvanizacije ionskim premazom električne grijaće cijevi

 

prednost

 

visoka stopa taloženja

 

gusti film

 

Dobra difraktivnost, snažna sposobnost pokrivanja složenih površina

 

Prednosti i nedostaci reaktivnog raspršivanja za vakuumsku galvanizaciju električnih grijaćih cijevi

 

(1) Reakcija Ciljni materijal (jednoelementna meta ili višeelementna meta) i reaktivni plin (kisik, dušik, ugljikovodik, itd.) koji se koriste u magnetronskom raspršivanju visoke su čistoće, što pogoduje pripremi visoko čistoće složeni filmovi.

 

(2) Podešavanjem parametara procesa u reaktivnom magnetronskom raspršivanju mogu se pripremiti stehiometrijski ili nestehiometrijski složeni filmovi, a svojstva filma mogu se regulirati podešavanjem sastava filma.

 

(3) Tijekom procesa taloženja reaktivnim magnetronskim raspršivanjem, temperatura supstrata je relativno mala, a supstrat se obično ne mora zagrijavati na visokoj temperaturi tijekom procesa formiranja filma, tako da postoji manje ograničenja za materijal supstrata.

 

(4) Reaktivno magnetronsko raspršivanje prikladno je za pripremu ujednačenih tankih filmova velike površine i može ostvariti industrijaliziranu proizvodnju godišnjih proizvoda od jednog stroja od milijuna četvornih metara premaza.

 

nedostatak

 

Sklon trovanju meta, nestanku anoda i drugim problemima

www.superbheater.com