Precizni magnetronski stroj za optičko premazivanje raspršivanjem

Precizni magnetronski stroj za optičko premazivanje raspršivanjem

Sustav taloženja prskanjem ima višestruke cilindrične mete na bočnoj stijenci za povećane stope taloženja i višeslojnih premaza. Sustav je opremljen kružnim katodama s istosmjernim impulsom ili RF napajanjem, okomito postavljenim supstratima i cilindričnim katodama kako bi se maksimiziralo onečišćenje česticama u procesu presvlačenja uvelike je smanjeno, a učinkovitost proizvodnje i performanse filma znatno su poboljšani kroz fleksibilnu kombinaciju višestrukih šupljina.

Visoko precizni magnetronski raspršivački stroj za optičko premazivanje s više šupljina

Uređaj je opremljen RF-ICP-potpomognutim postoksidacijskim načinom magnetronskog raspršivanja, koji ima visoke stope taloženja i odgovarajuća optička svojstva. Pogodan je za nanošenje AR filma na pokrovno staklo vozila i prednje pokrovno staklo 3C proizvoda. AR film može biti obični filmski sustav SiO2 plus Nb2O5 ili tvrdi filmski sustav SiO2 plus Si3N4. U isto vrijeme, također je prikladan za obradu 3C filma u boji stražnje korice proizvoda (uključujući gradijentni film u boji) i NCVM filma.

Stroj za vakuumsko premazivanje Visoko precizni stroj za optičko premazivanje magnetronskim raspršivanjem

Modularni dizajn opreme može kombinirati jedinicu za čišćenje plazmom (Plasma-clean), jedinicu za magnetronsko raspršivanje (SPT), jedinicu za kemijsku reakciju poboljšanu plazmom (PECVD), jedinicu za taloženje atomskog sloja (ALD) i jedinicu za nagrizanje kemijskom reakcijom u plazmi (RIE). ) jedinica za proširenje grupiranog centra za mikro-nano obradu kako bi pokrio cijeli proces čišćenja supstrata, taloženja filma (uključujući ultratanke filmove) i jetkanja s uzorkom za obradu mikro-nano strukture poluvodiča.

Vakuumski uređaj za nanošenje ultra-debele višeelementne legure i ultra-debele nitridne prevlake

Debljina kontinuiranog taloženja višekomponentne prevlake od legure može doseći više od 120 um, trodimenzionalna rotacija jedne mete može se postići veća ili jednaka 6,5 ​​um/h, a kontinuirano taloženje nitridne prevlake je više od 25 um , trodimenzionalna rotacija pojedinačne mete može se postići veća ili jednaka 3 um/h, a tvrdoća površine obratka je poboljšana. Predviđeno je novo rješenje za popravak lopatica zrakoplovnih motora i eroziju ruba lopatica parnih turbina.

www.superbheater.com