Nakon što su zamršeni obrasci strujnog kruga urezani u silikonsku pločicu, zaštitna fotorezistentna maska-sloj čvrstog,-poprečno-polimera-mora se potpuno i čisto ukloniti. To se postiže u vrućoj kupki snažnih, agresivnih organskih otapala, često zagrijanoj na više od sto stupnjeva Celzijusa. Potopni grijač unutar ove hlapljive, korozivne kemije mora biti izrađen od materijala koji otapala ne mogu otopiti, nabubriti ili kontaminirati. PTFE je onaj kemijski tihi, inertan materijal.

Uloga PTFE grijača u skidanju fotorezista

Kupka za skidanje obično se sastoji od mješavine otapala kao što su N-metil-2-pirolidon (NMP), dimetil sulfoksid (DMSO) i jaki alkalni amini, zagrijani na 80-110 stupnjeva. PTFE uronjeni grijač je standardni izbor za ovu primjenu. Njegov kemijski inertan omotač potpuno je otporan na agresivna otapala, koja bi inače napala standardnu ​​plastiku i korodirala metale.

PTFE grijač pruža čistu, stabilnu i preciznu toplinu bez otpuštanja metalnih iona ili drugih kontaminanata koji bi se mogli taložiti na netaknutoj površini ploče. Ne{1}}neljepljiva, glatka PTFE površina otporna je na nakupljanje otopljenih ostataka fotorezista, održavajući savršeno čistu grijaću površinu tijekom ponovljenih ciklusa. Proces skidanja pločice od fotootpornog PTFE grijača osigurava ravnomjernu raspodjelu temperature i smanjuje lokalizirano ključanje ili udaranje koje bi moglo poremetiti osjetljive pločice.

"PTFE grijač je kemijski tihi, vrući prst u kupki snažnih otapala, koji skida masku bez ostavljanja ikakvih tragova, dok pločicu održava netaknutom i električki besprijekornom."

Sigurnosna razmatranja

Mješavina otapala je zapaljiva, otrovna i često se koristi blizu točke vrenja. Odgovarajući dizajn spremnika, uključujući zapečaćena kućišta, uzemljenje i ventilaciju, obavezan je za sprječavanje požara, izlaganja parama ili elektrostatičkih opasnosti. Konzervativne gustoće vata potrebne su za održavanje kontroliranog zagrijavanja i izbjegavanje udara otapala ili lokalnog pregrijavanja na PTFE omotaču.

Operativne prednosti

Korištenje PTFE grijača u ovom procesu omogućuje:

Kemijska otpornost na agresivne smjese otapala.

Održavanje apsolutne čistoće pločice i električnog integriteta.

Dugotrajna-pouzdanost bez korozije ili degradacije.

Ravnomjerno zagrijavanje-bez ostataka kritično je za-proizvodnju poluvodiča visokog učinka.

Zaključak

PTFE uronjeni grijač kritičan je, kemijski otporan izvor topline koji omogućuje čisto, potpuno skidanje fotorezista s pločica u proizvodnji poluvodiča. Omogućujući stabilnu toplinu bez{1}}zagađivača u vrlo agresivnoj kupki otapala, PTFE grijač osigurava atomsku čistoću koja je bitna za modernu mikroelektroniku. Savršena, besprijekorna površina računalnog čipa postiže se kombinacijom kemijske agresije i inertnog, pouzdanog zagrijavanja.