Isparavanje stroja za vakuumsko premazivanje važan je proces
Ostavite poruku
Isparavanje stroja za vakuumsko premazivanje važan je proces
Analizirane su karakteristike kontrole debljine filma EI-5Z uređaja za premazivanje elektronskim snopom. Uz pomoć eksperimentalnih rezultata i teorijskog istraživanja, redizajnirana je praktičnija ploča za podešavanje i dobivene su bolje performanse filma: odstupanje unutar supstrata bilo je unutar ±3 posto, a odstupanje između iste serije supstrata bilo je unutar raspona od ±5 posto iznutra. Ispunite zahtjeve masovne proizvodnje.
U proizvodnji poluvodiča, isparavanje je važan proces. Točnost kontrole debljine filma ključni je pokazatelj za mjerenje učinka isparavanja, koji izravno utječe na kasniji proizvodni proces i performanse konačnog proizvoda. U masovnoj proizvodnji, s jedne strane, naglašeno je točno mjerenje debljine filma, as druge strane, ujednačenost debljine filma - odnosno promjena debljine filma s površinom podloge i promjena debljine filma. između podloga na različitim pozicijama na stalku— Postoje i visoki zahtjevi.
Osnovni princip isparavanja stroja za vakuumsko premazivanje
Evaporacija je najstarija tehnika u metodi taloženja tankih filmova u uvjetima vakuuma. Tijekom vremena, u mnogim primjenama, postupno je zamijenjen drugim metodama, kao što su SPUTERRING ili PECVD, ali kad god velike površine zahtijevaju brzo taloženje tankih filmova, tehnologija isparavanja je još uvijek najraširenije i ekonomično rješenje.
Tehnički princip isparavanja je vrlo jednostavan. Tvar koju treba ispariti (izvor isparavanja) stavlja se u poseban spremnik (lončić) u određenu komoru u kojoj će se izvršiti operacija isparavanja i zagrijava do određene temperature pod vakuumskim uvjetima. Postoje dva načina zagrijavanja isparenog materijala, elektronskim snopom pobuđenim induciranim magnetskim poljem ili otpornim zagrijavanjem žice. U dijelu komore za isparavanje koji nije zaštićen zatvaračem, isparene tvari će se taložiti na površini i formirati tanki film.
www.superbheater.com
