Taloženje tankih filmova na podloge metodom raspršivanja vakuumskog premazivača

Taloženje tankih filmova na podloge metodom raspršivanja vakuumskog premazivača

Raspršivanje je pojava u kojoj se nabijene čestice (obično pozitivni ioni inertnog plina) koriste za bombardiranje površine krutine (u daljnjem tekstu meta), uzrokujući tako atome (ili molekule) na površini mete da pobjegnu iz to. Ovaj fenomen otkrio je Grove 1842. dok je eksperimentalno proučavao problem katodne korozije, kada je materijal katode migrirao na stijenku vakuumske cijevi. Vakuumski uređaj za premazivanje koji je koristio ovu metodu raspršivanja za nanošenje tankih filmova na podlogu uveden je 1877.

Podjela i područje primjene stroja za vakumiranje

Obično je metoda otplinjavanja izratka pečenje, a plin i vlaga iz izratka se ispuštaju zagrijavanjem. Prije premazivanja, obradak se zagrijava tijekom pumpanja. Zajedno s plinom u vakuumskoj komori, isti se ispumpava pomoću vakuumske pumpe.

Različite mjere otplinjavanja poduzimaju se za različite izratke kako bi se učinkovito kontrolirala emisija plina i vlage unutar izratka i poboljšala stabilnost i ujednačenost premaza. Klasifikacija i opseg primjene stroja za vakuumsko premazivanje Stroj za vakuumsko premazivanje uglavnom se odnosi na vrstu premazivanja koja se mora izvesti pod visokim vakuumom, uključujući mnoge vrste, uključujući vakuumsko isparavanje iona, magnetronsko raspršivanje, MBE epitaksiju molekularnim snopom, taloženje PLD laserskim raspršivanjem I toliko vrsta.

Vjerojatnost stroja za vakuumsko oblaganje ovisi o fizičkim svojstvima samog obratka

Neki obradaci imaju puno plina, vlage itd. u sebi. Ove tvari će se ispustiti u vakuumsku komoru kada se oprema zagrije, smanjujući stupanj vakuuma. Štoviše, neki plinovi imaju otrovne komponente, koje izravno oštećuju vakuumsku komoru. Unutarnja mehanička struktura uzrokuje neispravan rad opreme. Osim toga, tijekom procesa premazivanja, zbog zagrijavanja i širenja plina u izratku, lako je puknuti premazani film. Naravno, vjerojatnost ove situacije ovisi o fizičkim svojstvima samog obratka, kao što je plastika koja se lako širi, vjerojatnost je relativno visoka. Za tvrde materijale kao što je metal, vjerojatnost je relativno niska, ali se ne može zanemariti, tako da je otplinjavanje izratka vrlo potrebno.

Stanje vakuuma je okruženje koje podržava rad stroja za vakuumsko premazivanje, posebno opreme koja zahtijeva visoki stupanj vakuuma. Obično trebamo postići visok stupanj vakuuma. Uloga sustava za ekstrakciju zraka je nezamjenjiva, ali osim sustava za ekstrakciju zraka, u opremi za vakuumsko premazivanje U procesu rada, još jedna točka je otplinjavanje izratka.

www.superbheater.com