Karakteristike PVD premaza aparata za vakuumiranje

Karakteristike PVD premaza aparata za vakuumiranje

Višelučno premazivanje i magnetronsko raspršivanje imaju svoje prednosti i nedostatke. Kako bi se što više iskoristile njihove prednosti i postigla komplementarnost, stroj za premazivanje koji kombinira višelučnu tehnologiju i magnetronsku tehnologiju pojavljuje se kako vrijeme zahtijeva. U procesu postoji nova metoda višelučnog nanošenja temeljnog premaza, zatim korištenje magnetronskog raspršivanja za zgušnjavanje premaza i konačno korištenje višelučnog nanošenja kako bi se postigla konačna stabilna boja površinskog premaza.

Otprilike od sredine do kasnih 1980-ih pojavili su se uređaji za ionsko oplatu isparavanjem s vrućim katodnim elektronskim pištoljem i magnetronski plazma presvlačenje s vrućim katodnim lukom, a učinak primjene bio je vrlo dobar, tako da su alati za premazivanje TiN brzo popularizirani. Među njima, elektronski top s vrućom katodom koristi se za isparavanje ionske oplate, bakreni lončić se koristi za zagrijavanje i taljenje presvučenog metalnog materijala, tantalova nit se koristi za zagrijavanje i degaziranje obratka, a elektronski top se koristi za poboljšanje brzina ionizacije. Čvrstoća i otpornost na trošenje su dobri, a teško ga je ukloniti čak i brušenjem. Ali ovi uređaji su prikladni samo za TiN premaz ili tanki film od čistog metala. Za višeslojne prevlake ili kompozitne prevlake to nije dovoljno i teško je zadovoljiti zahtjeve brzog rezanja materijala visoke tvrdoće i raznolikost primjene kalupa.

Trenutačno neke razvijene zemlje (kao što su CemeCon u Njemačkoj, ART-TEER u Britaniji, Platit u Švicarskoj) koriste neuravnoteženo magnetsko polje za zamjenu izvornog uravnoteženog magnetskog polja, međufrekventno napajanje od 50 KHz za zamjenu izvornog istosmjernog napajanja, puls Napajanje je zamijenilo prethodni istosmjerni prednapon, a usvojena je i tehnologija pomoćne anode, tako da je tehnologija magnetronskog raspršivanja postupno sazrijevala i primjenjivala se na prevlaku kalupa u velikim količinama. Premazi koji se sada stabilno proizvode uglavnom uključuju TiAlN, AlTiN, TiB2, DLC, CrN, Zhejiang, Guangdong, Jiangsu, Guizhou, Zhuzhou i druga mjesta u Kini također su sukcesivno uvela takvu opremu, koja ima potencijal izazvati požar u preriji .

www.superbheater.com